プラズマ・イオンビームの基礎と応用に関するスクール (2024年度核融合科学研究所 スクーリング・ネットワーキング事業)

Details for KAZUTAKA TSUKAHARA

Affiliation: Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co.,Ltd.

Author in the following contribution

• イオン注入の現状と方向性